ナノ粒子加工
表面被膜金属、酸化物、窒化物、弗化物、炭化物、合金、複合酸化物、コアシェル型合金など、幅広いナノ粒子を製造することができます。複数原料を同時に供給することによる「複合ナノ粒子」、原料粉末の「球状化処理」に対応することもできます。
【ナノ粒子製造方式】 高周波熱プラズマ法
※10000℃の反応場を用いた気相法であるため、比較的原料の形態を問わない。燃焼ガスや電極を用いないことからコンタミネーションのない製造が可能
ナノメタル
銀：Ag
XRD回析パターン
SEM写真 DBET:41nm
TEM写真（有機物表面修飾処理）
銅：Cu
XRD回析パターン
SEM写真 DBET:22nm
シリコン：Si
XRD回析パターン
SEM写真 DBET:80nm
合金
銀－パラジウム：Ag-Pd
XRD回析パターン
SEM写真 DBET:44nm
銅－ニッケル：Cu-Ni
XRD回析パターン
SEM写真 DBET:51nm
ニッケル-タングステン：Ni-W
XRD回析パターン
SEM写真 DBET:80nm
窒化物
窒化チタン：TiN
XRD回析パターン
SEM写真 DBET:12nm
TEM写真
炭化物
炭化チタン：TiC
XRD回析パターン
TEM写真 DBET:25nm
炭化ケイ素：SiC
XRD回析パターン
炭化ジルコニウム：ZrC
XRD回析パターン
酸化物
イットリア：Y2O3
XRD回析パターン
TEM写真 DBET:11nm
セリア：CeO2
XRD回析パターン
TEM写真 DBET:6nm
マグネシア：MgO
XRD回析パターン
TEM写真 DBET:8nm
酸化タングステン：WO3
XRD回析パターン
TEM写真 DBET:7nm
亜酸化銅：Cu2O
XRD回析パターン
SEM写真 DBET:50nm
複合酸化物
導電性酸化物：ITO
XRD回析パターン
SEM写真 DBET:20nm
同族固溶酸化物：(Ca0.1Ba0.9)(Zr0.2Ti0.8)O3
XRD回析パターン
SEM写真 DBET:30nm
イットリア安定化ジルコニア：YSZ
弗化物
弗化マグネシウム：MgF2
XRD回析パターン
SEM写真 DBET:40nm
硫化物
硫化カルシウム：CaS
XRD回析パターン
SEM写真 DBET:30nm
コアシェル
鉄,コバルト(コア)-アルミナ(シェル)：Fe,Co-Al2O3
XRD回析パターン
SEM写真 DBET:40nm
球状化処理
チタン酸バリウム：BaTiO3
SEM写真
SEM写真
アルミナ：Al2O3
SEM写真
SEM写真
ステンレス：SUS304
SEM写真
SEM写真
